TIME
扫描电镜（SEM）需要的真空度非常高，通常在10^-3至10^-6帕之间。这种高真空环境是为了保证电子在镜体内的传输效率以及避免空气分子对电子束的干扰。在高真空条件下，电子能够顺畅地从电子枪发射出来，经过电磁透镜聚焦后，以狭窄的光束照射到样品表面，产生各种相互作用，从而获得清晰的图像。如果电镜内部存在空气分子，它们会与电子束发生碰撞，导致电子能量损失和散射，影响成像质量。因此，高真空环境是扫描电镜获得高质量图像的关键条件之一。
扫描电镜中的真空系统是为了维持这种高真空环境，这个系统主要由真空泵和真空阀门组成，真空泵用于抽取电镜内部的气体，保持高真空状态；真空阀门则用于控制气体流动，确保真空系统的稳定性和可靠性，真空系统还包括一些辅助元件，如真空计和压力传感器等，用于监测和调节电镜内部的真空度，扫描电镜中的真空系统是为了确保在高真空环境下进行高质量的显微观察和分析。
